中文名称 | 六氟乙酰丙酮钯 | ||
别名 | |||
英文名称 | Palladium(II) hexafluoroacetylacetonate | ||
CAS# | 64916-48-9 | ||
MDL | |||
分子式(M.F.) | Pd(C5HF6O2)2 | ||
分子量(M.W.) | 520.52 | ||
产品编号 | BC-1141 | ||
性状 | 黄色至深橙色粉末 | ||
纯度/分析方法 | Pd20.44% | ||
物化参数 | 熔点 | / | |
沸点 | / | ||
闪点 | / | ||
蒸气压 | / | ||
密度 | / | ||
溶解性 | / | ||
规格/包装 | 根据客户要求 | ||
存储特性 | / | ||
用途 | 用于氧化还原金属置换反应,以优化铜的化学气相沉积合金化工艺。还用于同时进行铜的蚀刻和钯的沉积,从而应用于超大规模集成设备 |